




氦氣檢漏儀的工作原理是什么?
主要有離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計組成,離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子,分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質荷比不同;在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,再設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙;打在收集器上,收集放大器收集氦離子流并出入到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。真空法氦質譜檢漏采用真空法檢漏時,需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空,采用氦罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施氦氣,當被檢產(chǎn)品表面有漏孔時,氦氣就會通過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部,再進入氦質譜檢漏儀,從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測量。
氦質譜檢漏儀的原理
氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現(xiàn)分離。
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氦質譜檢漏儀的應用拓展
氦質譜檢漏儀的應用已從科學院、大專院校、實驗室及少數(shù)科研機構走向工礦企業(yè),甚至鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)、個體企業(yè),可以說應用領域極其寬廣。
航空航天高科技工業(yè)
1)例如火箭發(fā)動機及姿態(tài)發(fā)動機,過去是打壓刷肥皂水檢漏,現(xiàn)在重新改進工藝用氦質譜檢漏儀檢漏,采用正壓吸槍與氦罩法結合,使檢漏靈敏度大大提高,從而保證了發(fā)動機質量。清除時間在理論上與響應時間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些?;鸺w的檢漏采用正壓吸槍、氦罩法、累集法等幾種方法的結合。由于檢漏技術的應用,提高了檢漏靈敏度,彌補了吸入法檢漏時儀器靈敏度低的不足。
2)KM6空間環(huán)模裝置設備龐大,主真空室直徑12m、高22m,另外有輔助真空室和載人艙等。背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高,能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測,可以進行批量化檢測。容積3500m3,分系統(tǒng)多,結構復雜,各種接口焊縫相加有幾千米長,采用氦質譜檢漏儀負壓檢漏,每條焊縫由檢漏盒密封,配以鋪助抽氣系統(tǒng)將盒內(nèi)抽低真空后,充入一定壓力氦氣,關閉預抽閥,開啟檢漏閥。由于盒內(nèi)氦濃度較高,相對檢漏儀又有一定壓力,因此有效提高了檢漏靈敏度。
3)航天工業(yè)中,衛(wèi)1星、各類閥門、電子元器件,傳感器等等都在廣泛應用氦質譜檢漏儀及其檢漏技術。
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